Hersteller von Gasreinigern, Reinheitsgasfilter für hohe Temperaturen und Drücke
Hersteller von Gasreinigern, Reinheitsgasfilter für hohe Temperaturen und Drücke
Hochpräzise Ganzmetallfiltration mit hohem Durchfluss, die speziell für integrierte hochreine Gassystembaugruppen entwickelt wurde.
Vorbehandlung
Die Filterpatrone und ihre Teile werden in einer Reinraumumgebung hergestellt und verpackt.An der Kartusche haften Partikel und Wasser < 10 ppb.
es kann schnell zur Filtration eingesetzt werden
Käfigbehandlung in elektronischer Qualität. Interne Elektropolitur mit einer Innenoberfläche von Ra<0,3 um
Feinfiltration
Für die Feinfiltration von Gasen sind Abscheidegrade von 0,2μm erforderlich
100 % Helium-Lecktest
100 % getestet mit dem Helium-Lecktest, um die Qualität sicherzustellen.
Die hohe Partikelentfernungseffizienz
■ Außergewöhnlich geringe Partikelabgabe
■ Hervorragende Feuchtigkeitstrocknungseigenschaften
■ Extrem geringe Ausgasung
■ Hervorragende chemische Verträglichkeit
■ Hoher Differenzdruck
■ Inline-Konstruktion, vollständig geschweißt
■ Maximale Durchflussraten: 30, 225, 600, 900 und 2700 Std. l/min
■ Endanschlüsse: 1/4, 1/2 und 3/4 Zoll integrierte VCR-Außengewindeanschlüsse mit Gleitringdichtung;1/4-Zoll-VCR-Gesichtsdichtungsanschlüsse mit Innengewinde
■ Industriestandardlängen;siehe Bestellinformationen und Abmessungen
ANWENDUNGEN:
Halbleiterprozessausrüstung
Schweißgas/Spülgas
Handschuhfach-Spülgas
Glühschutzgas
Additive Fertigung
Pharmazeutische Produktion
Solar und Energie
Andere neue Technologien
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