HENGKO® Hochreiner Halbleiter-Gasfilter
Filter der hochreinen Serie sind für die Filterung von Halbleitergasen konzipiert.Diese vollständig geschweißte Baugruppe sorgt für eine partikelunterstützte Rückhaltung von 0,003 Mikron.
Halbleiter-Gasfilter verfügen über eine interne Konstruktion komplett aus Edelstahl, einschließlich einer gesinterten Filterpatrone und Stützstruktur aus Edelstahl sowie einem elektropolierten, geschweißten Gehäuse aus 316L-Edelstahl für kritische Halbleiter-Prozessgasanwendungen.
Spülen Sie die fertige Baugruppe mit gefiltertem Nickel, um eine anfängliche Sauberkeit zu erreichen.
Anwendungsbranchen:
Point-of-Use-Halbleiter-Spezialgasfiltration
Inert- und Spezialgastransfer.
Die technischen Spezifikationen lauten wie folgt:
3-nm-Filterbewertung
Unsere porösen gesinterten Edelstahlfilter bieten eine effektive Partikelrückhalteeffizienz bei 0,003 μm.
Maximale Betriebstemperatur: 121 °C (250 °F)
Maximaler Betriebsdruck: 207 bar (3000 psig) bei 20 °C (68 °F).
Funktionen und Vorteile:
Poröses, gesintertes Edelstahl-Filtermedium / Poröse, gesinterte Edelstahl-Stützstruktur
Filter aus gesintertem Edelstahl 316L bieten einen hervorragenden Durchflusswiderstand und eine hohe Chemikalienbeständigkeit.
Elektropoliertes 316L-Gehäuse
Diese Filterbaugruppe verfügt über ein 10Ra-elektropoliertes 316L-Edelstahlgehäuse, um Korrosion und Partikelbildung zu verhindern.
Reinraumproduktion
Unsere gesinterten Edelstahlfilter für Halbleitergase werden in einem Reinraum hergestellt, um eine partikelfreie, chemisch saubere, anorganische Handhabung und Abfüllung zu gewährleisten und ein hohes Maß an Sauberkeit außerhalb des Beutels zu gewährleisten.Eine zusätzliche Vorbehandlung ist optional.
FAQ
1. Was ist ein hochreiner Halbleiter-Gasfilter?
Ein hochreiner Halbleitergasfilter ist ein spezieller Filtertyp, der Verunreinigungen aus Gasen entfernt, die bei der Herstellung elektronischer Komponenten verwendet werden.Diese Filter bestehen aus Materialien, die hohen Temperaturen und korrosiven Chemikalien standhalten, und sind darauf ausgelegt, Partikel bis in den Nanobereich zu entfernen.
2. Warum sind hochreine Halbleiter-Gasfilter wichtig?
Bei der Herstellung von Halbleitern können bereits geringe Mengen an Verunreinigungen zu Mängeln führen und die Gesamtqualität des Endprodukts beeinträchtigen.Hochreine Halbleiter-Gasfilter tragen dazu bei, dass die in Herstellungsprozessen verwendeten Gase frei von Verunreinigungen sind, was zu einer höheren Qualität elektronischer Komponenten führt.
3. Welche Arten von Gasen können mit hochreinen Halbleiter-Gasfiltern gefiltert werden?
Hochreine Halbleiter-Gasfilter können zum Filtern einer Vielzahl von Gasen verwendet werden, darunter Wasserstoff, Stickstoff, Sauerstoff und eine Vielzahl anderer Prozessgase.Abhängig vom jeweiligen Herstellungsprozess können unterschiedliche Filtertypen erforderlich sein, um den gewünschten Reinheitsgrad zu erreichen.
4. Wie werden hochreine Halbleiter-Gasfilter hergestellt?
Hochreine Halbleiter-Gasfilter werden aus Materialien wie Edelstahl und anderen hochfesten Metallen hergestellt.Die Filterelemente sind typischerweise sehr klein, mit Porengrößen im Bereich von 0,1 bis 1 Mikrometer.Die Filter werden häufig mit speziellen Materialien beschichtet, um ihre Oberflächeneigenschaften zu verbessern und ihre Filtrationsleistung zu verbessern.
5. Wie lange halten hochreine Halbleitergasfilter?
Die Lebensdauer eines hochreinen Halbleitergasfilters kann abhängig von einer Reihe von Faktoren variieren, einschließlich der Art des Filters, des gefilterten Gases und des spezifischen Herstellungsprozesses.Im Allgemeinen sind diese Filter für den Langzeitgebrauch konzipiert und können mehrere Monate oder sogar Jahre halten, bevor sie ausgetauscht werden müssen.Regelmäßige Wartung und Reinigung können dazu beitragen, die Lebensdauer dieser Filter zu verlängern und langfristig eine optimale Leistung sicherzustellen.
