Halbleiterfilter

Halbleiter-Gasfilter:

Gewährleistung einwandfreier Gasreinheit bei der Chipherstellung

In der komplizierten Welt der Halbleiterfertigung, in der Präzision und Reinheit an erster Stelle stehen, ist die Qualität von

Die verwendeten Gase spielen eine entscheidende Rolle für den Erfolg des Prozesses. Verunreinigungen, selbst in verschwindend kleinen Mengen,

kann die empfindlichen Schaltkreise von Mikrochips zerstören und sie defekt und unbrauchbar machen. Zum Schutz

In diesem kritischen Prozess fungieren Halbleiter-Gasfilter als unnachgiebige Wächter, die Verunreinigungen akribisch entfernen

und Gewährleistung der makellosen Qualität der Gase, die durch die Produktionslinien strömen.

Es gibt viele hervorragende Eigenschaften und Vorteile von Sintermetallfiltern

1. Hergestellt in einer hochmodernen Reinraumumgebung

Diese Filter werden in einem hochmodernen Reinraum hergestellt, einer Umgebung, in der sorgfältig auf einwandfreie Bedingungen geachtet wird, um mögliche Kontaminationen zu minimieren. Sie durchlaufen einen strengen Herstellungsprozess, der mit dem Präzisionsschweißen unter einer Atmosphäre gereinigter Luft beginnt. Eine anschließende Spülung mit entionisiertem Wasser, gefolgt von einer Hochdruckspülung mit gefiltertem Stickstoff, entfernt alle verbleibenden Partikel und verringert das Risiko der Partikelabgabe.

2. Außergewöhnliche Partikelentfernungseffizienz

Mit einer bemerkenswerten Filtrationseffizienz von 9 LRV für Partikel mit einer Größe von 0,003 μm und unter Einhaltung der strengen Standards der Testmethoden SEMI F38 und ISO 12500 entfernen diese Filter effektiv alle durch Korrosion erzeugten Partikel und Partikel, die von beweglichen Teilen erzeugt werden, und stellen so die makellose Reinheit der Partikel sicher Gase.

3. Überlegene mechanische Festigkeit

Diese Filter wurden strengen Tests unterzogen, um eine außergewöhnliche Widerstandsfähigkeit in anspruchsvollen Herstellungsprozessen und Umgebungen zu gewährleisten, in denen häufig hohe Gasdrücke zum Einsatz kommen. Sie bieten während ihrer gesamten Lebensdauer eine unerschütterliche Leistung.

4. Übertreffen der höchsten Industriestandards

Diese Filter übertreffen die strengen Filteranforderungen für die Gashandhabung bei der Halbleiterverarbeitung und werden strengen Tests unterzogen, um sicherzustellen, dass sie die kritische Filtereffizienz, präzise Durchflusskontrolle und Sicherheitsstandards erfüllen, die von Gaszufuhrsystemen in der Halbleiterfertigung gefordert werden.

5. Unerschütterliches Engagement für Sicherheit

Zum Schutz vor der Belastung durch brennbare, korrosive, giftige und pyrophore Prozessgase werden die Filtergehäuse einer sorgfältigen Dichtheitsprüfung unterzogen, um sicherzustellen, dass sie eine bemerkenswerte Leckrate von weniger als 1x10-9 atm scc/Sekunde erreichen. Dieses unerschütterliche Engagement für Sicherheit stellt sicher, dass gefährliche Gase eingedämmt werden und keine Schäden entstehen.

6. Kompromisslose Reinheit für hervorragende Chipherstellung

Durch ihre außergewöhnlichen Filterfähigkeiten, ihr unermüdliches Engagement für Sicherheit und die Einhaltung der höchsten Industriestandards spielen diese Gasfilter eine entscheidende Rolle bei der Sicherung des komplexen Prozesses der Halbleiterfertigung. Sie stehen als Hüter der Reinheit und stellen sicher, dass nur die saubersten Gase durch die Produktionslinien fließen, und ebnen so den Weg für die Entwicklung leistungsstarker Mikrochips, die unsere moderne Welt antreiben.

Arten von Halbleiterfiltern

Halbleiterfilter werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter:

* Elektronikfertigung:

Halbleiterfilter werden verwendet, um Partikel aus Reinstwasser, Gasen und Chemikalien zu entfernen, die bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden.

* Chemisch-mechanische Planarisierung (CMP):

Halbleiterfilter werden verwendet, um Partikel aus CMP-Aufschlämmungen zu entfernen, die zum Polieren von Halbleiterwafern verwendet werden.

* Biomedizin:

Halbleiterfilter werden zur Entfernung von Partikeln aus Flüssigkeiten eingesetzt, die in der medizinischen Diagnostik und Behandlung eingesetzt werden.

* Umwelt:

Zur Entfernung von Partikeln aus Luft und Wasser werden Halbleiterfilter eingesetzt.

Es gibt vier Haupttypen von Halbleiterfiltern:

1. Membranfilter:

Membranfilter bestehen aus einem dünnen, porösen Film, der Flüssigkeiten durchlässt und gleichzeitig Partikel einfängt.

 

Membranfilter für Halbleiter

 

 

2. Tiefenfilter:

Tiefenfilter bestehen aus einem dicken, gewundenen Materialbett, das Partikel einfängt, wenn sie durch den Filter strömen.

 

Tiefenfilter für Halbleiter

 

 

3. Adsorptionsfilter:

Adsorptionsfilter bestehen aus einem Material, das Partikel anzieht und festhält.

 

 Adsorptionsfilter für Halbleiter

 

 

4. Sintermetallfilter

Sintermetallfilter sind eine Art Tiefenfilter, der häufig in der Halbleiterfertigung eingesetzt wird. Sie werden durch Sintern von feinem Metallpulver zu einer porösen Struktur hergestellt. Sintermetallfilter sind bekannt für ihre hohe Haltbarkeit, hohe Filtrationseffizienz und ihre Fähigkeit, hohen Temperaturen und Drücken standzuhalten.

Vorteile von Sintermetallfiltern für die Halbleiterfertigung:

* Hohe Haltbarkeit:

Sintermetallfilter sind sehr langlebig und halten rauen Betriebsbedingungen stand, einschließlich hoher Temperaturen, Drücke und korrosiver Chemikalien.

 

* Hohe Filtrationseffizienz:

Sintermetallfilter können Partikel mit einer Größe von bis zu 0,01 Mikrometern entfernen, was für den Schutz empfindlicher Halbleiterkomponenten vor Verunreinigungen unerlässlich ist.

* Lange Lebensdauer:

Sintermetallfilter haben eine lange Lebensdauer und können leicht gereinigt und wiederverwendet werden.

* Chemische Kompatibilität:

Sintermetallfilter sind mit einer Vielzahl von Chemikalien kompatibel und eignen sich daher für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen.

Anwendungen von Sintermetallfiltern in der Halbleiterfertigung:

* Gasreinigung:

Sintermetallfilter werden zur Reinigung von Gasen verwendet, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden, wie z. B. Stickstoff, Wasserstoff und Sauerstoff.

* Chemische Filterung:

Sintermetallfilter werden zum Filtern von Chemikalien verwendet, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden, wie z. B. Säuren, Basen und Lösungsmittel.

* Reinstwasserfiltration:

Sintermetallfilter werden zur Filterung von Reinstwasser verwendet, das in der Halbleiterfertigung verwendet wird.

* CMP-Schlammfiltration:

Sintermetallfilter werden zum Filtern von CMP-Schlämmen verwendet, die zum Polieren von Halbleiterwafern verwendet werden.

Sintermetallfilter sind ein wesentlicher Bestandteil des Halbleiterfertigungsprozesses und tragen dazu bei, die Produktion hochwertiger Halbleiterbauelemente sicherzustellen.

 

Der Typ des Halbleiterfilters, der in einer bestimmten Anwendung verwendet wird, hängt von der Größe der zu entfernenden Partikel, der Art der gefilterten Flüssigkeit und dem gewünschten Filtergrad ab.

Hier ist eine Tabelle, die die verschiedenen Arten von Halbleiterfiltern zusammenfasst:

Filtertyp	Beschreibung	Anwendungen	Bild
Membranfilter	Besteht aus einem dünnen, porösen Film, der Flüssigkeiten durchlässt und gleichzeitig Partikel einfängt.	Elektronikfertigung, CMP, Biomedizin, Umwelt	Membranfilter für Halbleiter
Tiefenfilter	Besteht aus einem dicken, gewundenen Materialbett, das Partikel einfängt, wenn sie durch den Filter fließen.	CMP, Biomedizin, Umwelt	Tiefenfilter für Halbleiter
Adsorbierende Filter	Hergestellt aus einem Material, das Partikel anzieht und festhält.	Elektronikfertigung, CMP, Biomedizin, Umwelt	Adsorptionsfilter für Halbleiter
Sintermetallfilter	Hergestellt durch Sintern von feinem Metallpulver zu einer porösen Struktur.	Gasreinigung, chemische Filtration, Reinstwasserfiltration, CMP-Schlammfiltration	Öffnet in einem neuen Fensterwww.hengko.com Sintermetallfilter für Halbleiter

Anwendung

Sintermetall-Halbleitergasfilter werden in einer Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie häufig eingesetzt. Ihre einzigartigen Eigenschaften, wie hohe Filtereffizienz, Haltbarkeit und die Fähigkeit, hohen Temperaturen und Drücken standzuhalten, machen sie zu einem wesentlichen Bestandteil von Gaszufuhrsystemen in der Halbleiterfertigung.

Hier sind einige der spezifischen Anwendungen von Sintermetall-Halbleiter-Gasfiltern:

1. Waferproduktion:

Sintermetallfilter werden zur Reinigung von Gasen verwendet, die bei der Waferproduktion verwendet werden, beispielsweise Stickstoff, Wasserstoff und Sauerstoff. Diese Gase sind für Prozesse wie Epitaxiewachstum, Ätzen und Dotieren unerlässlich.

2. Chemische Filterung:

Sintermetallfilter werden zum Filtern von Chemikalien verwendet, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden, wie z. B. Säuren, Basen und Lösungsmittel. Diese Chemikalien werden für verschiedene Zwecke verwendet, darunter zum Reinigen, Ätzen und Polieren.

3. Reinstwasserfiltration:

Sintermetallfilter werden zur Filterung von Reinstwasser (UPW) verwendet, das in der Halbleiterfertigung verwendet wird. UPW ist zum Reinigen und Spülen von Wafern sowie zur Vorbereitung von Chemikalien unerlässlich.

4. CMP-Schlammfiltration:

Sintermetallfilter werden zum Filtern von CMP-Schlämmen verwendet, die zum Polieren von Halbleiterwafern verwendet werden. CMP ist ein kritischer Prozess bei der Herstellung von Mikrochips.

5. Point-of-Use (POU)-Filtration:

Als POU-Filter werden häufig Sintermetallfilter eingesetzt, die direkt am Einsatzort installiert werden, um ein Höchstmaß an Filtration zu gewährleisten. POU-Filter sind besonders wichtig für Anwendungen, bei denen die Reinheit des Gases von entscheidender Bedeutung ist, beispielsweise bei der Herstellung von Mikroprozessoren und anderen Hochleistungsgeräten.

6. Handhabung hochreiner Gase:

Sintermetallfilter werden in Systemen zur Handhabung hochreiner Gase eingesetzt, um Verunreinigungen aus Gasen zu entfernen, die in der Halbleiterfertigung verwendet werden. Zu diesen Verunreinigungen können Partikel, Feuchtigkeit und organische Verbindungen gehören.

7. Mikroelektronikfertigung:

Sintermetallfilter werden bei der Herstellung von Mikroelektronik wie Computern, Tablets, Mobiltelefonen, IoT-Sensoren und Steuergeräten verwendet.

8. Mikroelektromechanische Systemfiltration (MEMS):

Sintermetallfilter werden in der MEMS-Filtration eingesetzt, bei der Verunreinigungen aus mikroelektromechanischen Systemen entfernt werden. MEMS werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter Sensoren, Aktoren und Wandler.

9. Filterung von Datenspeichergeräten:

Sintermetallfilter werden bei der Filterung von Datenspeichergeräten verwendet. Dabei handelt es sich um den Prozess der Entfernung von Verunreinigungen aus Datenspeichergeräten wie Festplatten und Solid-State-Laufwerken.

Zusätzlich zu diesen spezifischen Anwendungen werden Sintermetall-Halbleitergasfilter auch in einer Vielzahl anderer Anwendungen in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Ihre Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit machen sie zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Halbleiterhersteller.

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