Temperatur- und Feuchtigkeitssensor für Halbleiter-Reinraumtemperatur-Feuchtigkeitsregelungsschema
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Die TemperaturundDie Feuchtigkeit des Reinraums wird hauptsächlich gemäß den Prozessanforderungen bestimmt, aber unter der Bedingung, dass die Prozessanforderungen erfüllt werden, sollte das Komfortgefühl berücksichtigt werden.Mit der Verbesserung der Luftreinheitsanforderungen gab es einen Trend zu immer strengeren Anforderungen an Temperatur und Feuchtigkeit.
Je feiner die Verarbeitungsgenauigkeit, desto geringer die Temperaturschwankungsbreite.Beispielsweise muss beim lithografischen Belichtungsprozess der großtechnischen Herstellung integrierter Schaltungen die Differenz des Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Glas und Siliziumwafer als Maskenmaterial immer kleiner werden.Durchmesser 100 um Siliziumwafer, Temperaturanstieg 1 Grad, verursacht eine lineare Ausdehnung von 0,24 um, daher muss eine Temperatur von ± 0,1 Grad herrschen, gleichzeitig ist der Feuchtigkeitswert im Allgemeinen niedrig, da Menschen schwitzen, das Produkt wird verschmutzt, besonders Angst vor Natrium-Halbleiter-Workshop, sollte dieser Workshop 25 Grad nicht überschreiten.
Hohe Luftfeuchtigkeit verursacht weitere Probleme.Wenn die relative Luftfeuchtigkeit 55 % übersteigt, bildet sich Tau an der Wand der Kühlwasserleitung, was zu verschiedenen Unfällen führen kann, wenn dies in Präzisionsgeräten oder -kreisläufen passiert.Bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von 50 % rostet es leicht.Wenn die Feuchtigkeit zu hoch ist, wird außerdem der an der Oberfläche des Siliziumchips haftende Staub chemisch auf der Oberfläche adsorbiert, um einer Entfernung zu widerstehen.Je höher die relative Feuchtigkeit ist, desto schwieriger ist die Anhaftung zu entfernen, aber wenn die relative Feuchtigkeit niedriger als 30 % ist, adsorbieren die Teilchen aufgrund der Wirkung elektrostatischer Kräfte leicht an der Oberfläche, und eine große Anzahl von Halbleitervorrichtungen ist es anfällig für Ausfälle.Der optimale Temperaturbereich für die Waferherstellung liegt bei 35-45 %.
Daher ist die Kontrolle von Temperatur und Luftfeuchtigkeit besonders wichtig, HENGKO bietet Ihnen eine Reihe davon anTemperatur- und Feuchtigkeitstransmitter kundenspezifische Verarbeitungslösungen!
Temperatur- und Feuchtigkeitssensor für Halbleiter-Reinraumtemperatur-Feuchtigkeitsregelungsschema
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