HENGKO Hochreiner poröser Metallkammer-Diffusorstein für die hochreine Gasfiltration zu Halbleitern

Poröse Metalldiffusoren von HENGKO entlüften Vakuumkammern schnell an die Atmosphäre, was die Zykluszeit verkürzt und den Durchsatz erhöht.Unsere Edelstahldiffusoren sorgen für gleichmäßige und laminare Gasströme ohne störende Partikel in der Kammer.Diese porösen Metalldiffusoren entfernen außerdem Partikel mit einer Größe von mehr als 0,1 µm aus dem einströmenden Gas und minimieren so Defekte auf dem Wafer.
Diffusoren aus Edelstahl halten höheren Betriebsdrücken stand und bewahren die Produktintegrität – die längste Lebensdauer in der Branche.Und für eine Korrosionsbeständigkeit, die der von Nickel überlegen ist, verwenden Sie hochreine Diffusoren von HENGKO.

Anwendungen
Poröse Metalldiffusoren von HENGKO werden in Entlüftungsanwendungen an Schleusenkammern, Transferkammern, Kühlkammern und Prozesskammern von Halbleitergeräteschnittstellen (CVD, PVD, Etch, Epi) oder anderen Vakuumkammern eingesetzt

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