Gesinterter Inline-Metall-Gasfilter für Halbleiter-Gasreinigungssystem

Gesinterte Inline-Gasfilter aus Metall scheiden mithilfe eines reaktiven Materialbetts Verunreinigungen wie Feuchtigkeit, Sauerstoff, Kohlendioxid, Kohlenmonoxid, Kohlenwasserstoffe und Metallcarbonyle aus.Verunreinigungen werden aus dem Gasstrom in Bereichen ausgestoßen, in denen herkömmliche Partikelfilterung wirkungslos ist.Unsere Materialien ermöglichen die Entfernung von Verunreinigungen auf Hintergrundebene, ohne Metalle oder andere schädliche Verunreinigungen in den Prozessstrom einzubringen.

Ganzmetall-High-Flow-Filter erfüllen die Anliegen und Anforderungen, am Entnahmeort partikelfreies Prozessgas bereitzustellen.Inline-Metallgasfilter ist einMetallfilter aus gesintertem Edelstahlmit Edelstahlgehäuse.Wir entnehmen das Produkt einem gesinterten Filtermedium (gesinterter Edelstahlfilter) bis hin zum Endprodukt, einem Gasfilter, der bei der Herstellung von Produkten wie Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarmodulen verwendet wird.

Verfügbar mitSintermetallfilterFiltration für alle Prozessgase.Erhältlich in verschiedenen Anschlussarten, um den Installationsanforderungen unserer Kunden gerecht zu werden.Erhältlich mit 0,1-µm-Filtrationstechnologie, um die anspruchsvollsten Anforderungen an die Lieferung ultrareiner Massengase zu erfüllen.

Anwendungen:
Inerte Gase
Edelgase
Nicht reaktive Gase
Hydridgase
Perfluorkohlenstoff und korrosive Gase.