Gesinterter Inline-Metallgasfilter für Halbleitergasreinigungssysteme

Sintermetall-Gasfilter entfernen Verunreinigungen wie Feuchtigkeit, Sauerstoff, Kohlendioxid, Kohlenmonoxid, Kohlenwasserstoffe und Metallcarbonyle mithilfe eines reaktiven Materialbetts. Die Verunreinigungen werden aus dem Gasstrom in Bereichen entfernt, in denen herkömmliche Partikelfilter unwirksam sind. Unsere Materialien gewährleisten die Entfernung von Schadstoffen auf Hintergrundniveau, ohne Metalle oder andere schädliche Verunreinigungen in den Prozessstrom einzubringen.

Hochleistungs-Ganzmetallfilter erfüllen die Anforderungen an die Bereitstellung partikelfreier Prozessgase am Lieferort. Inline-Metallgasfilter sind einSinteredelstahl-Metallfiltermit einem Edelstahlgehäuse. Wir gewinnen das Produkt aus einem gesinterten Filtermedium (Sinteredelstahlfilterbis hin zum Endprodukt, einem Gasfilter, der bei der Herstellung von Produkten wie Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarmodulen verwendet wird.

Verfügbar mitSintermetallfilterFiltration für alle Prozessgase. Erhältlich mit verschiedenen Anschlussmöglichkeiten, um den Installationsanforderungen unserer Kunden gerecht zu werden. Ausgestattet mit 0,1 µm Filtrationstechnologie für höchste Ansprüche an die Lieferung ultrareiner Gase in großen Mengen.

Anwendungsbereiche:
Inertgase
Edelgase
Nichtreaktive Gase
Hybridgase
Perfluorkohlenwasserstoffe und korrosive Gase.