Überlegene Filtration und zuverlässige Hochdruck-Durchflussregelung für Halbleiterprozesse
Beschreibung
DerDiffusorfilterist eine hochmoderne Lösung, die speziell für schnelle Entlüftungsanwendungen in Vakuumkammern entwickelt wurde.
wird in Halbleiterfertigungsprozessen verwendet.
Die Kombination der Strömungseigenschaften eines Diffusors mit den Partikelabscheideeigenschaften eines Hocheffizienzfilters,
Dieses Produkt gewährleistet unübertroffene Leistung und Zuverlässigkeit.
Hauptmerkmale:
Ultrahohe Filtrationspräzision:
Erreicht eine Filtrationsgenauigkeit von bis zu0,003 μmund fängt so selbst kleinste Partikel effektiv ab, um empfindliche Halbleiterumgebungen zu schützen.
Innovative Konstruktion aus Edelstahl 316L:
Diese einzigartige Konstruktion, die vollständig aus Edelstahl 316L gefertigt ist, gewährleistet außergewöhnliche Langlebigkeit, Korrosionsbeständigkeit und überlegene Filtrationseffizienz.
Turbulenzfreies Design:
Entwickelt, um Turbulenzen zu minimieren und Störungen der Prozesskammerumgebung zu vermeiden.
Diese Funktion schützt vor Partikelaufwirbelung oder Kontamination der Waferoberfläche und gewährleistet die Aufrechterhaltung der
Integrität des Produktionsprozesses.
Anpassbar und flexibel:
Der Filter ist so konzipiert, dass er sich an verschiedene Einbauräume anpasst und somit nahtlos unterschiedliche Systemanforderungen erfüllt.
bietet eine vielseitige Lösung für die Anforderungen der Halbleiterfertigung.
Produktmerkmale
▶Sintered Edelstahlmedien für schnelle Entlüftung
Gewährleistet effiziente und schnelle Abgasprozesse in Vakuumkammern.
▶Komplett aus Edelstahl 316L gefertigt
Garantiert außergewöhnliche Langlebigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Zuverlässigkeit.
▶Reduziert Turbulenzen beim Kammerauslass
Minimiert Störungen in der Prozesskammer und erhält so die Stabilität der Umgebung aufrecht.
▶Kompatibel mit einer breiten Palette von Prozessgasen
Bietet Vielseitigkeit für verschiedene Anwendungen in der Halbleiterfertigung.
▶Hergestellt, geprüft und verpackt in Reinraumumgebungen
Gewährleistet die strikte Einhaltung höchster Reinheitsstandards.
▶100% Integritätsprüfung
Jede Einheit wird gründlichen Tests unterzogen, um eine einwandfreie Filtrationsleistung zu gewährleisten.
▶100% Helium-Lecksuche bestanden
Gewährleistet absolute Dichtheit und Zuverlässigkeit in Hochdruckumgebungen.
▶Hochtemperatur-, hochdruck- und korrosionsbeständig
Entwickelt, um auch den anspruchsvollsten Betriebsbedingungen standzuhalten.
▶Verhindert Partikelkontamination
Verbessert die Produktqualität durch Verringerung des Fehlerrisikos und Steigerung der Ausbeute.
▶Anpassbares Design
Anpassbar an verschiedene Installationsräume, bietet es maßgeschneiderte Lösungen für vielfältige Anforderungen.
Dieser funktionsreiche Diffusorfilter wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen der Halbleiterfertigung zu erfüllen.
Wir gewährleisten Leistung, Zuverlässigkeit und Anpassungsfähigkeit in jeder Anwendung.
Datenblatt
Technische Parameter
| Parameter | Spezifikation | Parameter | Spezifikation |
|---|---|---|---|
| Filtermaterial | Sinteredelstahl 316L | Gehäusematerial | Edelstahl 316L |
| Oberflächenbehandlung | Innenfläche: Ra ≤ 32 μm | Filtrationsgenauigkeit | ≥ 0,003 μm |
| Maximaler Einlassdruck | 4-Takt | Maximaler Betriebsdifferenzdruck | 5 Bar |
| Maximale Betriebstemperatur | 400℃ | Reinigung stromabwärts | ≤ 0,03 Partikel/Liter bei einem Nenndurchfluss von >0,01 μm |
Größe
Hier finden Sie die Artikelnummer, die Sie bestellen können, sowie die Größenangaben:
Produktinformationstabelle für Scheibenfilter
| Produktmodell | Einlassspezifikation | Auslassspezifikation | Gesamtlänge (A) | Filterelement-Außendurchmesser (φB) | Wohnungs-OD (φC) |
|---|---|---|---|---|---|
| Z01B-00639 | 1/4'' | ISO NW40 Vakuumflansch | 42 mm (1,64 Zoll) | Φ39mm (1,53'') | Φ55mm (2,16'') |
| Z01B-00695 | 1/4'' | ISO NW50 Vakuumflansch | 42 mm (1,64 Zoll) | Φ52mm (2,05'') | Φ75mm (2,95'') |
Produktinformationstabelle für Patronenfilter
| Produktmodell | Einlassspezifikation | Auslassspezifikation | Gesamtlänge (A) | Filterelement-Außendurchmesser (φB) | Wohnungs-OD (φC) | Filterrohrlänge (D) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Z01B-00697 | 1/4'' | ISO NW16 Vakuumflansch | 81 mm (3,18 Zoll) | Φ16mm (0,64'') | Φ30mm (1,18'') | 44 mm (1,74 Zoll) |
| Z01B-00501 | 1/4'' | ISO NW16 Vakuumflansch | 104 mm (4,08 Zoll) | Φ16mm (0,64'') | Φ30mm (1,18'') | 67 mm (2,64 Zoll) |
| Z01B-00698 | 1/4'' | ISO NW16 Vakuumflansch | 135 mm (5,30 Zoll) | Φ16mm (0,64'') | Φ30mm (1,18'') | 98 mm (3,86 Zoll) |
| Z01B-00699 | 1/4'' | ISO NW25 Vakuumflansch | 81 mm (3,18 Zoll) | Φ16mm (0,64'') | Φ40mm (1,58'') | 44 mm (1,74 Zoll) |
| Z01B-00700 | 1/4'' | ISO NW25 Vakuumflansch | 104 mm (4,08 Zoll) | Φ16mm (0,64'') | Φ40mm (1,58'') | 67 mm (2,64 Zoll) |
| Z01B-00701 | 1/4'' | ISO NW40 Vakuumflansch | 104 mm (4,08 Zoll) | Φ16mm (0,64'') | Φ55mm (2,16'') | 67 mm (2,64 Zoll) |
Typische Anwendungen
Ideal für den Einsatz in:
*Vakuumkammern, die eine schnelle und präzise Gasentlüftung erfordern.
*Hochsensible Halbleiterfertigungsumgebungen.
*Prozesse, bei denen Turbulenzminimierung und Partikelkontrolle von entscheidender Bedeutung sind.
Mit seinem fortschrittlichen Design und seiner herausragenden Leistung,Diffusorfilterist die perfekte Wahl für
Optimierung von Filtration und Durchflusskontrolle in Halbleiteranwendungen.
Kontaktieren Sie uns noch heute, um zu erfahren, wie dieses innovative Produkt Ihre Produktion steigern kann.
*Filtert Hochdruckgase für Kühl- und Prozessanwendungen, insbesondere in Hochtemperaturumgebungen.
*Steigert die Effizienz und reduziert den Geräteverschleiß durch die Verhinderung von Verunreinigungen in Gaskühl- und Durchflusssystemen.
Diese fFilter sind in allen Anwendungen, die einen sauberen, gleichmäßigen Gasstrom erfordern, unerlässlich und verbessern den Schutz der Anlagen.
Prozesseffizienz und Endproduktqualität branchenübergreifend.
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